TY  - JOUR

T1  - The Snomipede: A parallel platform for scanning near-field photolithography

JO  - JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH

PY  - 2011/12/01

AU  - ul-Haq E

AU  - Liu Z

AU  - Zhang Y

AU  - Ahmad SAA

AU  - Wong LS

AU  - Hobbs JK

AU  - Leggett GJ

AU  - Micklefield J

AU  - Roberts CJ

AU  - Weaver JMR

ED  - 

DO  - DOI: 10.1557/jmr.2011.370

VL  - 26

IS  - 24

SP  - 2997

EP  - 3008

Y2  - 2024/12/22

ER  -