TY  - CHAP

T1  - Nanolithography

PY  - 2012/03/15

AU  - Leggett GJ

ED  - 

DO  - DOI: 10.1002/9780470661345.smc193

PB  - John Wiley & Sons, Ltd

SN  - 9780470746400

Y2  - 2024/12/22

ER  -