TY  - JOUR

T1  - Triode technology in the sputter deposition of carbon films

JO  - Carbon

PY  - 1988/01/01

AU  - Fitzgerald AG

AU  - Simpson M

AU  - Dederski GA

AU  - MoiR PA

AU  - Matthews A

AU  - Tither D

ED  - 

DO  - DOI: 10.1016/0008-6223(88)90042-5

PB  - Elsevier BV

VL  - 26

IS  - 2

SP  - 229

EP  - 234

Y2  - 2024/12/22

ER  -