TY  - JOUR

T1  - Atomic Plane Misorientation Assisted Crystalline Quality Improvement in Epitaxial Growth of AlN on a Nanopatterned Sapphire (0001) Surface for Deep Ultraviolet Photoelectric Devices

JO  - ACS Applied Nano Materials

UR  - http://dx.doi.org/10.1021/acsanm.2c05372

PY  - 2023/03/09

AU  - Deng Y

AU  - Xie N

AU  - Hu W

AU  - Ma Z

AU  - Xu F

AU  - Chen L

AU  - Qiu W

AU  - Zhao L

AU  - Tao H

AU  - Wu B

AU  - Huang Y et al

ED  - 

DO  - DOI: 10.1021/acsanm.2c05372

PB  - American Chemical Society (ACS)

Y2  - 2024/12/22

ER  -