TY - JOUR T1 - Auger depth profile analysis and EFTEM analysis of annealed Ti/Al-contacts on Si-doped GaN JO - Applied Surface Science PY - 2001/01/01 AU - Pidun M AU - Karduck P AU - Mayer J AU - Heime K AU - Schineller B AU - Walther T ED - DO - DOI: 10.1016/S0169-4332(01)00282-3 VL - 179 IS - 1-4 SP - 213 EP - 221 Y2 - 2024/12/22 ER -