TY  - JOUR

T1  - Microplasma copolymerization of amine and Si containing precursors

JO  - Thin Solid Films

PY  - 2014/01/01

AU  - Bashir M

AU  - Zimmerman WB

AU  - Rees JM

AU  - Bashir S

ED  - 

DO  - DOI: 10.1016/j.tsf.2014.06.004

Y2  - 2024/10/19

ER  -